仪器特点：
该系列气浮式(shi)大行程(cheng)影(ying)像(xiang)测量(liang)仪采用(yong)龙门(men)式(shi)结构(gou)(桥架式(shi))运行性能(neng)稳定(ding)(ding)，且机构(gou)稳定(ding)(ding)不(bu)变(bian)形。X、Y、Z三轴均采用(yong)伺服(fu)电(dian)机、全采用(yong)双重闭(bi)环运动(dong)(dong)控制、可(ke)保证电(dian)机在中(zhong)、高速(su)动(dong)(dong)动(dong)(dong)时的稳定(ding)(ding)性，和准确的定(ding)(ding)位功能(neng)，影(ying)像(xiang)Z轴可(ke)自动(dong)(dong)对焦、配合美国Navitar自动(dong)(dong)变(bian)焦镜头，可(ke)实现(xian)自动(dong)(dong)变(bian)焦而(er)不(bu)需倍率(lv)校正。
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影像测量仪系列型号 |
VMS5030(气浮(fu)型) |
VMS6040(气(qi)浮型) |
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工作台 |
金属台(tai)面(mian)尺寸(mm) |
760×640 |
730×530 |
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玻璃台面尺寸(mm) |
550×350 |
650×450 |
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运动行程(mm) |
500×300 |
600×400 |
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Z轴升降行程 |
200mm |
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工作距离 |
92mm |
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X、Y、Z数显解析度(du) |
1μm |
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X、Y坐标示值误差 |
≤(3+L/200)μm |
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影像系统 |
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测量系统 |
Mclns全自动测量软(ruan)件 |
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